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<図書>

スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著

スパッタ ギジュツ

出版者 東京 : 共立出版
出版年 1988.6
大きさ v, 227p ; 22cm
本文言語 日本語

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 コメント 予約 指定図書
図・2F開架閲覧
549.8/16/A 9000159468

図・B1F一般図書
549.8/16 9000142522

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一般注記 文献: 各章末
著者標目 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>
件 名 BSH:薄膜
NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:431.86
NDC8:549
NDC7:431.89
書誌ID 2000024437
NCID BN02297664
巻冊次 ISBN:4320084772 ; PRICE:4120円

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