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<図書>

マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著

マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ

(応用物理学選書;8)
出版者 東京 : 裳華房
出版年 1998.3
大きさ x, 234p ; 22cm
本文言語 日本語

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 コメント 予約 指定図書
図・2F開架閲覧
549.7/Y86 3000038871

図・B1F一般図書
549.7/Y86 2001035261

書誌詳細を非表示

別書名 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
一般注記 欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書
著者標目 吉田, 善一(1957-) <ヨシダ, ヨシカズ>
件 名 BSH:集積回路
BSH:電子光学
NDLSH:半導体
NDLSH:機械工作
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
NDC9:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000415982
NCID BA35144601
巻冊次 ISBN:4785325089 ; PRICE:3990円

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