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<図書>

超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術 / 麻蒔立男著

チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ

第2版
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2001.9
大きさ x, 295p ; 21cm
本文言語 日本語

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 コメント 予約 指定図書
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549/A86 2001051620

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著者標目 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ>
件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 2000459566
NCID BA53699368
巻冊次 ISBN:4526048127 ; PRICE:3900円

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