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<図書>

自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編

ジコ ソシキカ プロセス ギジュツ

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修;カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20)
出版者 東京 : 培風館
出版年 1999.7
大きさ x, 307p ; 22cm
本文言語 日本語

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 コメント 予約 指定図書
図・2F開架閲覧
549.8/MU59 2001062052

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一般注記 参考文献: 各章末
著者標目 村田, 好正(1935-) <ムラタ, ヨシタダ>
尾関, 雅志 <オゼキ, マサシ>
野崎, 眞次 <ノザキ, シンジ>
件 名 BSH:半導体
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000525565
NCID BA4214337X
巻冊次 ISBN:456303620X ; PRICE:5400円+税

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