自己組織化プロセス技術

＜図書＞

自己組織化プロセス技術 / 村田好正, 尾関雅志, 野崎眞次共編

ジコソシキカプロセスギジュツ

(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修;カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 20)

配架場所	巻　次	請求記号	資料番号	状　態	コメント	予約	指定図書
図・2F開架閲覧		549.8/MU59	2001062052

一般注記	参考文献: 各章末
著者標目	村田, 好正(1935-) <ムラタ, ヨシタダ> 尾関, 雅志 <オゼキ, マサシ> 野崎, 眞次 <ノザキ, シンジ>
件　名	BSH:半導体 NDLSH:半導体
分　類	NDC8:549.8 NDC9:549.8 NDLC:ND371
書誌ID	2000525565
NCID	BA4214337X
巻冊次	ISBN:456303620X ; PRICE:5400円+税

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