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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著

クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ

出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2006.10
大きさ xi, 223p ; 21cm
本文言語 日本語

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 コメント 予約 指定図書
図・2F開架閲覧
549.1/Y19 3000006592

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別書名 標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
著者標目 山田, 公 <ヤマダ, イサオ>
件 名 BSH:イオンビーム
分 類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
書誌ID 2000608028
NCID BA79102802
巻冊次 ISBN:4526057657 ; PRICE:3200円+税

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